本报讯(记者 许金星)使用液相法生产碳化硅晶体,8-12英寸石英制品国产化……顺义区持续抢占未来产业发展制高点,加速布局战略性新兴产业,不断以新质生产力开辟新领域新赛道。近年来,晶格领域、北京亚泽等一批三代半创新企业在顺义如雨后春笋般冒出头来。
碳化硅是第三代半导体产业发展的重要基础材料,碳化硅器件以其优异的耐高压、耐高频、耐高温、低损耗等性能,有效满足电力电子系统、微波射频系统的高效率、小型化和轻量化要求,在新能源汽车、光伏发电、轨道交通、智能电网等领域具有明显优势。
北京晶格领域半导体有限公司是国内首家采用以液相法为核心技术生长碳化硅晶体的企业。相较目前物理气相传输法生长技术(PVT法),液相法不仅能有效提高晶体质量,降低生产成本,还能解决碳化硅衬底P型掺杂难以实现的产业化难题,对于推动宽禁带半导体产业发展具有重要意义。
北京晶格领域半导体有限公司总经理张泽盛介绍:“晶格领域目前正处于关键技术攻关阶段,去年10月设备开始入场,为了加快研发进度,我们持续进行试验线长晶工作,成功生长出第一批6英寸液相法碳化硅晶体,为公司迎接新一年的挑战奠定了基础。今年,公司将实现小批量产品的稳定供货。”
北京亚泽中保集成技术服务有限公司是从事集成电路用石英材料及制品的加工生产企业。作为半导体的细分产业,企业大批量的科研成果已成功转化为生产力,产品已应用于各大芯片制造和设备产业端。
制造部总监蒋大贤介绍:“2023年,我们完成石英产品在终端FAB厂的全产品覆盖并保证稳定供应。企业主要生产的石英环销量最高,使用最为广泛。目前,我们已经超额完成了第一季度销售目标,销售额预计突破1500万元,实现‘开门红’。”
高精尖的科研成果、扩建更专业的厂房产线、引进更高端的生产设备……今年,北京亚泽将全面推进8-12英寸石英制品的国产化进程,实现石英材料的完全自主可控。
顺义区三代半等先进半导体产业已初步形成从装备到材料、芯片、封装检测及下游应用的产业链布局,产业集群效应初显。以科技创新赋能产业创新,让新质生产力成为顺义高质量发展最鲜明的标识,顺义科技战线正加速向前。